ZnO thin films can be deposited by various methods, such as sputtering, e-beam evaporation, spray pyrolysis, sol-gel, pulsed laser deposition (PLD), metalorganic vapor phase epitaxy (MOVPE), molecular beam epitaxy (MBE), atomic layer epitaxy (ALE), etc.

• 制备ZnO薄膜的方法有很多，包括：溅射方法(sputtering)、金属有机气相外延(MOVPE)、分子束外延(MBE)、脉冲激光沉积(PLD)、原子层外延(ALE)、等离子体加强化学气相沉积(PECVD)、溶胶-凝胶法(soll-gel)、喷涂热解法(spray pyrolysis)、电子束蒸发法(e-beam evaporation)等等。