W. A. Kern and C. A. Deckert, in Thin Film Processing, J. L. Vossen, ed., New York: Academic(1978).
英
美
释义
丁志明;方维伦等九十八人;微机电系统技术与应用;行政院国家科学委员会精密仪器发展中心出版第53页;民国92年.
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