To design and optimize a 3D micro electro-mechahical system(MEMS) micro tactile sensor for dimension measurement of micro structure, a mechanical module of sensor under transverse load is presented.
英
美
释义
提出了一种用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉式传感器在横向负载下的力学模型;用于指导传感器的设计和优化.
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