Timans, P. J., Morishige, R. N., and Wasserman, Y., Emissivity-independent Rapid Thermal Processing Using Radiation Shield, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 470,57-62,1997.
英
美
释义
黄新员“热辐射在高速热处理中对晶圆温度之影响”元智大学机研所硕士论文,1997。
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