This paper introduced principle, process, characteristics and controlling deep slot of spiral groove movable ring of photoetching in the liquid hydrodynamic seal.

• 主要介绍了流体动力密封螺旋槽动环光刻工艺的特点、原理、工艺过程、工艺流程、槽深控制方法以及应用情况,提出了采用高能束流刻蚀螺旋槽动环的新途径。