This article briefly introduces UK- research trends of MFMS ( microelectronics and machinery system) micro transducers and MEMS microsystems in American biomedical circle.
英
美
释义
本文分两部分概要地介绍了美国生物医学界应用MEMS(微电子机械系统)微传感器和MEMS微系统的研究动向。
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