The incidention flux, the ion impact angle and the ion impact energy were calculated and synthesized to determine the ion implantation dose on the target surface.

• 重点研究了等离子体鞘层的时空演化规律，以及入射离子流密度、入射离子角度与能量的分布，由此得到了注入离子剂量在靶表面的分布。