The clear and bright streak lines in RHEED patterns proved the epitaxial growth of LAO/BTO superlattices, and a series of satellite peaks in XRD patterns showed the formation of multilayer structure.

• 由于超晶格薄膜的性能决定于生长和结构,因此,在薄膜生长过程中,我们首先利用高能电子衍射技术(RHEED)对LAO/BTO 超晶格薄膜的生长进行研究,然后再利用X 射线衍射技术对其结构进行分析。