J.C.Tannehill, D.A.Anderson, R.H.Pletcher (1997) Computational Fluid Mechanics and Heat Transfer, 2nd ed., Talor &Francis, Philadelphia, PA, Chapter 3.
英
美
释义
王耀尘杨天祥陈国声颜嘉良;多区段晶圆背压对于化学机械研磨制程中材料移除率空间均匀度的影响;第十四届全国计算流体力学学术研讨会.
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