In December 2002 Sematech set up a colloquy at which 100 tool and chip manufacturers and scientific researchers gathered to compile a long worry list about immersion lithography.

• 2002年12月，半导体研究联盟召开研讨会，100多位来自仪器与晶片制造公司以及科学界的研究员齐聚一堂，列出他们认为浸润式微影技术堪虑的事项。