First, we used DC sputter system to deposit hafnium metal and then proceeded with furnace under oxidation at low temperature to prepare HfO2 thin film.
英
美
释义
首先利用直流溅镀法沉积铪金属,接著以低温通氧气的炉管氧化金属铪,而得到氧化铪薄膜。
把海词放在桌面上,查词最方便
触屏版
|
电脑版
©2003 - 2024 海词词典(Dict.cn)
立即下载