Besides, we also study the SOI and non-SOI processes for two layer thickness of high-aspect-ratio suspended structures, offering the total solution for manufacturing.

• 在双层结构厚度之高深宽比悬浮微结构制程开发上，本研究亦针对SOI与单晶矽两种基材，并针对制程中可能发生之问题，提供完整的平台架构与解决方案。