Based on the properties of BARC and low dielectric constant, the process reliability of these materials can be ensured and the process competence can be promoted.
英
美
释义
由于此抗反射材料本身是由低介电常数材料所构成,因此在微影制程中可省去再外加抗反层的步骤,并增加制程的可靠度及竞争性。
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