Based on the drift diffusion equations as an example of a continuum model and particle in cell/Monte Carlo collision kinetic model,a plasma processing model is proposed.
英
美
释义
在漂流 扩散方程的连续流模型和单元粒子 蒙特卡罗碰撞动力学模型的基础上 ,提出了一个等离子体工艺模型。
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