As a part of MEMS, microcomponents can be by itself applied to either the macro mechanical system or as the basic units of an integrated MEMS system.

• 微器件是MEMS系统的一个重要组成部分，它既可以作为独立的元件应用于宏观的机电系统中，又可以作为微机械集成系统的基本单元，是目前MEMS研究和开发的主要内容。