After combining research results of defects model, negative binomial randomnumber generation, CIF layout decoding, fault-recognition and Monte Carlofunctional yield simulation methodology, a functional yield simulation system isdeveloped.

• 成功的开发了Monte Carlo功能成品率仿真系统。 该系统综合了本文在制造缺陷模型、负二项分布随机数发生、CIF版图解码、缺陷故障识别以及MC成品率仿真策略等方面的研究结果，用超过8000行C++语言编程实现了图形界面交互式功能成品率仿真。