According to the principles and characteristics of Me tal Organic chemical vapor Deposition (MOCVD) a computer controlled ho t wall low pressure MOCVD system was established.
英
美
释义
本文根据金属有机物化学气相沉积(MOCVD)系统的原理和特点,建立了计算机自动控制的热壁低压MOCVD系统。
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