A close relationship between OES intensity and thin film structure was found.Therefore, the optimal deposition conditions can be established by OES.
英
美
释义
因此在沉积微晶矽或串连式太阳能电池时,可藉由放射光谱仪直接量测的结果,即时调整实验参数来得到最适化的沉积条件。
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