3.Permanent magnet is one of the key materials in the design and fabrication of MEMS devices, for example, application in micro relay, micropump, and valve.

• 永磁材料在微电子机械系统 (MEMS)器件中具有重要的应用价值 ,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等。